NIKON INTERFÉROMÉTRIE OBJECTIVES ET MICROSCOPES BW-S500 / BW-D500

Série BW - un profilomètre sans contact de précision pour le profilage de surfaces à l’échelle subnanométrique

Grâce à la technologie de mesure par interférométrie optique à balayage développée en interne par Nikon, la résolution du relief atteint 1 picomètre (pm). Nikon propose divers microscopes optiques comme systèmes de mesure afin de répondre aux besoins de nombreuses applications de mesure.

Des performances de mesure supérieures

• Effectue des mesures de l’ordre de 0,1 nm sur des surfaces ultra-lisses, sans calcul de moyennes ni processus de filtrage.
• Permet de prendre des mesures avec la même résolution du relief dans une large plage de grossissement.
• Permet de mesurer des surfaces lisses et rugueuses sans changer le mode de mesure ou les filtres optiques.
• Capture des images entièrement mises au point et des images de hauteur de surface.

De nombreuses méthodes d’observation

Le système peut être utilisé comme un microscope optique. Il est en effet possible de procéder à des observations sur fond clair, à polarisation, en Contraste Interférentiel Différentiel et en fluorescence.

Objectifs d'Interférométrie Nikon

• Conçus pour un Profil Optique Sans Contact
• Objectifs Michelson et Mirau Disponibles
• Conception Corrigé à l’Infini - Lentille Tube de 200 mm

Les objectifs NIKON  d’interférométrie sont utilisés en mesures optiques sans contact pour obtenir des paramètres de mesure de surface. Ils peuvent être utilisés pour examiner la topographie de surface avec une très haute précision – à une fraction de la longueur d’onde. Dans ces objectifs, un faisceau lumineux passe à travers un séparateur, se dirige sur la surface de l’échantillon et sur un miroir de référence interne. La lumière réfléchie de ses surfaces se reforme, et une frange d’interférence est alors formée. Les objectifs Michelson offrent des distances de travail comparatives, champs de vision et profondeur de mise au point plus larges, alors que les objectifs Mirau sont utilisés en applications nécessitant un grossissement et/ou ouvertures numériques plus élevés. L’utilisation de la lentille tube Nikon de 200 mm (58-520)  permet à ces objectifs d’être intégrés avec une caméra de monture C.

Wafer en SiC : des mesures subnanométriques dans une large place de grossissement

Type: BW-D501 system
Sujet: wafer en carbure de silicium (SiC)