Nikon JCM-6000Plus JEOL NeoScope Benchtop (obsolete)

Tisch-REM NeoScope. Ideal geeignet für die biowissenschaftliche Forschung und industrielle Prüfverfahren.

Das Tischgerät REM NeoScope ist eine preisgünstige Ergänzung sowohl optischer Mikroskope als auch traditioneller Rasterelektronenmikroskope (REM).

Mit dem NeoScope lassen sich stark vergrößerte Bilder mit hoher Auflösung und hoher Feldtiefe einfach erfassen.

Das Mikroskop ist so einfach zu bedienen wie eine Digitalkamera und bietet dennoch die leistungsstarke Elektronenoptik eines REM.

Elektronenrastermikroskop  // EDX: Rasterelektronenmikroskop:

Als Rasterelektronenmikroskop ( REM = englisch scanning electron microscope, SEM) bezeichnet man ein Elektronenmikroskop, bei dem ein Elektronenstrahl in einem bestimmten Muster über das vergrößert abzubildende Objekt geführt (gerastert) wird und Wechselwirkungen der Elektronen mit dem Objekt zur Erzeugung eines Bildes des Objekts genutzt werden. Die typischerweise mit einem Rasterelektronenmikroskop erzeugten Bilder sind Abbildungen der Objektoberflächen und weisen eine hohe Schärfentiefe auf.

Elektronenstrahlerzeugung: Der Elektronenstrahl wird in einer Elektronenquelle erzeugt. Dabei handelt es sich bei den einfacheren Geräten um einen haarnadelförmig gebogenen Draht aus Wolfram oder einen LaB6-Kristall (Lanthanhexaborid). Dieser wird erhitzt und emittiert Elektronen (sogenannte Glühkathode), die dann in einem elektrischen Feld mit einer Spannung von typischerweise 8 bis 30 kV beschleunigt werden. 

Rasterprozess: vereinfachtes Funktionsprinzip eines Rasterelektronenmikroskops (REM-EDX).  Das Rasterelektronenmikroskop basiert auf der Abrasterung der Objektoberfläche mittels eines feingebündelten Elektronenstrahls. Der komplette Vorgang findet normalerweise im Hochvakuum statt, um Wechselwirkungen mit Atomen und Molekülen in der Luft zu vermeiden. Mit Hilfe von Magnetspulen wird der Elektronenstrahl auf einen Punkt auf dem Objekt fokussiert. Trifft der Elektronenstrahl auf das Objekt, sind verschiedene Wechselwirkungen möglich, deren Detektion Informationen über die Beschaffenheit des Objekts geben. Die Intensität des Signals wird ausgewertet. Der von der Kathode kommende Primärelektronenstrahl wird nun wie bei einem Röhrenfernseher zeilenweise über die Oberfläche des Objekts geführt (Rastern), während das Signal in Grauwertinformationen umgewandelt und synchron auf dem Bildschirm dargestellt wird. Sind alle Zeilen des Bildes abgetastet, fängt das Rastern wieder am oberen Bildrand an und ein neues Bild wird erzeugt. Die Vergrößerung ist nichts anderes als das Verhältnis zwischen abgerasterter Probenfläche und der Monitorgröße. Die Vergrößerung kann nahezu stufenlos eingestellt werden.

Röntgenanalyse (EDX / WDX): Zur Charakterisierung der Elementzusammensetzung kleinster Probenbereiche wird im REM häufig die charakteristische Röntgenstrahlung genutzt. Diese entsteht, wenn ein Elektron des Elektronenstrahls im Atom der Probe ein kernnahes Elektron aus seiner Position schlägt. Diese Lücke wird sofort von einem energiereicheren Elektron aus einem höheren Orbital aufgefüllt. Die Energiedifferenz wird in Form eines Röntgenquants frei. Die dadurch entstandene Röntgenstrahlung ist charakteristisch für den Übergang und das Atom, also das Element. Mittels geeigneter Detektoren (Halbleiterdetektoren) können die Energien, deren Intensität charakteristisch für die in der Probe enthaltenen Elemente ist, aufgenommen werden und so direkt auf das Element geschlossen werden. Die gängige Methode am REM ist die energiedispersive Röntgenstrahlen-Analyse (engl. energy dispersive X-ray analysis, EDX) – dabei wird die Energie des Röntgenquants ausgewertet. An einigen REMs findet sich auch die wellenlängendispersive Röntgenstrahlen-Analyse („wavelength dispersive X-ray analysis“, WDX), die aber hauptsächlich an (Elektronenstrahl-) Mikrosonden Einsatz findet.