Microscopes équipés d’optiques CFI60 pour une inspection sans défaut des wafers et masques de 200 mm

L200

Capacités d’inspection de masques et wafers de 200 mm pour l’identification des défauts par lumière réfléchie.

L200ND

Version automatisée du L200. Les opérations fréquentes telles que le contrôle de l’ouverture, la mise au point, la commutation fond clair/fond noir, la rotation du porte-objectifs, le réglage de l'intensité de l’ampoule et les réglages DIC, sont toutes motorisées et peuvent être contrôlées via une télécommande ou via un ordinateur.

L200A

Il s’agit du modèle le plus avancé. Il ajoute des capacités de lumière transmise, idéales pour l’inspection des écrans à cristaux liquides et des masques.