Nikons neuester und fortschrittlichster Waferloader für Prüfmikroskope (IC)

Die NWL200-Reihe bietet die ersten Waferloadern für Prüfmikroskope, die 100 Mikrometer dünne Wafer aufnehmen können.

Mit einem neuen Einspannsystem können die Geräte der NWL200-Reihe zuverlässige Ladevorgänge ausführen und eignen sich für die Inspektion von Halbleitern der nächsten Generation.

Verbesserte Funktionen für die Wafer-Erkennung vermeiden Schäden an den Halbleiterscheiben, während die Kantenausbruch-Erkennung Defekte bedingt durch Kantenausbrüche automatisch erfasst.