Volle Abdeckung für Grossformat-Panels bis 600 mm in einem einzigen Messvorgang

Mit der Markteinführung der NEXIV VMF-K6561 erweitert Nikon Corporation seine bewährte NEXIV 3D-Konfokal-Serie um ein wegweisendes High-End-Videosystem. Die wichtigste Innovation: Ein massiv vergrösserter Messtisch, der die lückenlose und hocheffiziente Vermessung von Panel-Level-Packages (PLP) und Grossformat-Substraten bis zu 600 × 600 mm ohne zeitaufwändiges Umspannen ermöglicht.

In der modernen Halbleiterfertigung, Mikrotechnik und Elektronikkomponenten-Produktion steigen die Anforderungen an den Durchsatz und die Präzision kontinuierlich. Das Handling grosser Substrate stellte die Qualitätssicherung bisher oft vor logistische Herausforderungen. Hier setzt die neue Nikon NEXIV VMF-K6561 an.

Maximales Messvolumen für maximale Effizienz

Basierend auf der hochentwickelten Technologie der NEXIV VMF-K-Serie ist das neue Modell mit einem grosszügigen Messtisch von 650 × 610 mm ausgestattet. Damit lässt sich ein komplettes Grossformat-Panel (600 × 600 mm) in einer einzigen Aufspannung vollständig und automatisiert analysieren.

Produktionsengpässe, die früher durch das sequentielle Umpositionieren oder Stückeln von Messbereichen entstanden, gehören damit der Vergangenheit an. Die bewährte Nikon High-Speed-Messtechnologie sorgt zudem für extrem kurze Taktzeiten bei der Erfassung komplexer 3D-Geometrien.

Stabilität und Präzision auf dem Mikrometer

Um die absolute Genauigkeit bei so grossen Verfahrwegen dauerhaft zu garantieren, hat Nikon die Konstruktion des Messtischs grundlegend optimiert. Eine signifikant erhöhte Dicke des Tischglases sorgt für maximale Steifigkeit und Verzugszweifelfreiheit. Selbst bei hoher Gewichtsbelastung bleibt das System vollkommen stabil – eine zwingende Voraussetzung für reproduzierbare Messergebnisse im Mikrometerbereich, wie sie in der Schweizer Präzisionsindustrie gefordert werden.

Die Highlights der NEXIV VMF-K6561 im Überblick:

• Vollständige 600-mm-Panel-Abdeckung: Messungen von Grossformaten in einem einzigen Setup ohne Totzeiten.
• Optische 3D-Konfokal-Sensorik: Erstklassige Höhenauflösung und kontrastreiche Erfassung von feinsten Oberflächenstrukturen, Leiterbahnen und Mikro-Bumps.
• Robuste Mechanik: Extra dickes Tischglas und optimierte Achsenführungen für kompromisslose Stabilität.
• Hoher Durchsatz: Intelligente Software-Algorithmen verkürzen die Prüfzyklen in der Serienmessung drastisch.